Обычно рабочая частота этих колебательных систем в пределах 18–25 кГц. В настоящее время в УЗ сварке наиболее широкое применение нашли колебательные системы с продольно-поперечными колебаниями на рабочие частоты 44, 66, 88 кГц. По этой схеме инструмент совершает изгибные колебания, возбуждаемые продольными колебаниями концентратора и преобразователя. Для микросварки колебательная система обычно выполняется по схеме, где инструмент совершает изгибные колебания. В последнее время у нас в стране и за рубежом проводится разработка УЗ сварочных машин с крутильными колебательными системами.
Магнитостриктор и волновод приводятся во вращение с помощью червячной и цилиндрической зубчатых передач. На конце волновода расположен рабочий ролик и холостой (прижимной) ролик.
Специально для цепей микроэлектроники разработано несколько способов УЗ сварки: УЗ сварка крутильными колебаниями, УЗ сварка с косвенным импульсным нагревом, микросварка давлением в сочетании с УЗ колебаниями специальной формы, термокомпрессия с ультразвуком.
УЗ сварка крутильными колебаниями дает наилучший эффект при герметизации металлостеклянных корпусов, когда требуется повышенная мощность УЗ. Крутильные колебания в зоне сварки создаются или путем использования нескольких синхронно работающих преобразователей и волноводов, прикрепленных к одному сварочному инструменту, или путем специального разрезного волновода, плечи которого имеют различную длину и работают таким образом, что создают крутильные колебания в рабочем стержне.
Для повышения качества сварных соединений при УЗ сварке микродеталей разработан новый способ УЗ сварки с косвенным импульсным нагревом деталей за счет теплопередачи от сварочного инструмента, нагреваемого проходящим током.